由于安裝了超高分辨率柵尺和各種技術(shù)，可最大限度地減少溫度變化對測量結(jié)果的影響，從而實現(xiàn)了 E0， MPE = 0.5+L/500 μm 的高精度。

蔡司 PRISMO® 系列的最高分辨率 0.02 μm 柵尺安裝在每個軸上。 此外，柵尺材料是 Zerodur®，它具有極低的熱膨脹系數(shù)，可最大限度地減少環(huán)境溫度變化對精度的影響。

FineCAA 用于通過將導(dǎo)軌分成 64 個網(wǎng)格來補償導(dǎo)軌的直線度誤差。 此外，“張量校準"用于通過在校準時改變測量力并多次探測同一零件來確定測針或校準球體的偏轉(zhuǎn)程度，從而消除測量結(jié)果中的偏轉(zhuǎn)誤差，以實現(xiàn)高精度測量。