用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器MC-5580C

用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器 EtherCAT 通信版本。 它符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可以通過 EtherCAT 通信進(jìn)行控制，該通信用于半導(dǎo)體制造設(shè)備運輸系統(tǒng)中的高速傳輸。

它配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和 Lintec 環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器作為標(biāo)準(zhǔn)配置，并且可以作為選項添加，例如用于液化氣。

長處 精度±1%S.P. 金屬密封件 清潔（保證顆粒） 環(huán)境溫度保證傳感器 EtherCAT 通信 選擇 微流量 F.S. 與液化氣兼容 寬 使用示例 EtherCAT 通信設(shè)備的統(tǒng)一通信 越來越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了 EtherCAT 通信（數(shù)字 I/F），用于對機(jī)器人手臂等運輸系統(tǒng)進(jìn)行高速控制。 EtherCAT 通信有 65,536 個節(jié)點，MFC 的所有測量和運動元件都可以通過 EtherCAT 通信統(tǒng)一。