1. 高效節(jié)能設(shè)計
   EV-M202N采用螺桿轉(zhuǎn)子與怠速功能優(yōu)化設(shè)計，功耗低至0.7kW（達到壓力時），節(jié)能。其排量范圍為1,300-2,000 L/min，極限壓力達2Pa，適用于中高真空需求的工業(yè)場景。

2. 無油清潔運行
   干式設(shè)計避免潤滑油污染，符合半導(dǎo)體、制藥等行業(yè)的潔凈要求。耐腐蝕材料選項可處理蝕刻、CVD等工藝中的腐蝕性氣體。

3. 智能控制與維護便捷
   支持寬范圍溫度控制（冷卻水流量2-8 L/min），適應(yīng)多樣化工藝條件。模塊化設(shè)計便于快速維護，減少停機時間。

典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造
   在離子注入、外延生長等工藝中提供無油真空環(huán)境，防止晶圓污染。其NW40接口適配標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)，兼容負(fù)載鎖等設(shè)備。

2. 新能源電池生產(chǎn)
   用于鋰電極片干燥、電解液注液等環(huán)節(jié)，避免油蒸汽對電池性能的影響。低振動設(shè)計（配備橡膠避震喉）可保護精密設(shè)備。

3. 化工與環(huán)保
   處理揮發(fā)性有機物（VOCs）回收時，耐腐蝕泵體可抵抗酸性氣體侵蝕。直接排大氣設(shè)計簡化廢氣處理流程。