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KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工干式真空泵MU180X能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。
產(chǎn)品分類
KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工干式真空泵MU180X
KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工干式真空泵MU180X
采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用單螺桿形狀實(shí)現(xiàn)節(jié)能、多樣化的產(chǎn)品線可滿足所有流程
多種溫度變化可滿足多種工藝需求，并通過20000L/min等級(jí)比本公司減少35%的足跡新的加熱器系統(tǒng)進(jìn)一步提高工藝耐用性
符合各種要求規(guī)格的產(chǎn)品規(guī)格以安全標(biāo)準(zhǔn)和安全設(shè)計(jì)為首要任務(wù)的高可靠性設(shè)計(jì)
DX節(jié)能/嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)、SDT/SDH耐工藝/超嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)
不使用N2吹掃時(shí)的值。 最終運(yùn)行時(shí)功耗的近似值。 封裝尺寸。請(qǐng)索取外部圖紙以了解詳細(xì)尺寸。
| 規(guī)格/型號(hào) | MU100X | MU180X | MU300X | MU600X | MU1218X | MU20N18X |
| 最大抽速 [L/min] *1 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 極限壓力 [Pa] *1 | 1.5 | 0.5 | ||||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相AC200~220V *2 | |||||
| 消耗功率 [kW] *3 | 0.35 | 0.5 | 0.55 | 0.6 | 0.9 | 1.0 |
| 外形尺寸 [mm] 長(zhǎng)×寬×高*4 | 450×230×275 | 550×280×299 | 450×230×520 | 530×230×520 | 870×380×751 | 1000×450×950 |
| 質(zhì)量[公斤] | 60 | 95 | 100 | 120 | 270 | 410 |
我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：
代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山
優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮
HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等
優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈
變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)，恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀，接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、下死點(diǎn)檢測(cè)裝置、空氣測(cè)量泵、應(yīng)變測(cè)試儀等期待您的咨詢。
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